化學滲劑是含有被滲元素的物質。被滲元素以分子狀態存在，它必須分解為活性原子或離子才可能被鋼件表面吸收及固溶，很難分解為活性原子或離子的物質不能作滲劑使用。例如普通滲氮時不用氮而用氨，因為氨極易分解出活性氮原子【N】： 　　2NH→3H2+2【N】根據化學反應熱力學，分解反應產物的自由能必須低于反應物的自由能，分解反應才可能發生。

    但僅滿足熱力學條件是不夠的，在生產中實際應用還必須考慮動力學條件，即反應速度；提高反應物的濃度和反應溫度，雖然均可加速滲劑的分解，但受材料或工藝等因素的限制。

    在實際生產中,使用催化劑以降低反應過程的激活能,可使一個高激活能的單一反應過程變為由若干個低激活能的中間過渡性反應過程，從而加速分解反應。

    鐵、鎳、鈷、鉑等金屬都是使氨或有機碳氫化合物分解的有效催化劑，所以鋼件表面本身就是很好的催化劑，滲劑在鋼件表面的分解速率比其單獨存在時的分解速率可以提高好幾倍。